六氟化硫和四氟化碳分離提純系統

發明--六氟化硫和四氟化碳分離提純系統.jpg六氟化硫和四氟化碳分離提純系統

  本發明公開了六氟化硫和四氟化碳分離提純系統,包括混合氣體回收管路,混合氣體回收管路分別連接有循環凈化管路、六氟化硫提純管路和四氟化碳提純管路。本發明克服了市面上的六氟化硫氣體回收凈化設備不能分離提純四氟化碳氣體的缺點,不僅實現了六氟化硫和四氟化碳氣體的分離和分別提純,并且集氣體的回收、分別分離提純和回充技術于一體,具有功能齊全、操作簡單、經濟適用等特點。