SF6氣體回收提純方法及回收提純罐

發明-SF6氣體回收提純方法及回收提純罐.jpgSF6氣體回收提純方法及回收提純罐

   本發明涉及一種SF6氣體回收提純方法及回收提純罐,對進入SF6氣體回收提純罐中的SF6氣液共同體,在SF6氣體回收提純罐內進行氣液分離并對液態部分降溫,使溶解于其中的N2、O2和CO2析出,罐體通過隔板分為上下兩部分,在隔板上開有通道,在通道上設有通過手柄和閥桿控制通道開合和關閉的閥門,在罐體上部分中設有球閥控制的抽真空口,在罐體的下部分中設有由冷凍劑進口到冷凍劑出口管道系統組成的冷凍機組,并開有SF6氣進口,設有加熱棒,在下部分罐體上開有SF6新氣出口,在罐體下部分中還設有溫度變送器,具有高回收率、高純度的優點。